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    激光驅(qū)動的機(jī)器人大軍!Nature:機(jī)器人尺寸小于 0.1 毫米,4 英寸晶圓可容納 100 萬個

    本文作者: 付靜 2020-08-27 17:40
    導(dǎo)語:過去 50 年的微電子研究打開了新世界的大門。

    我們眼前有一個微米尺度的機(jī)器人,大小和草履蟲差不多,肉眼看不見的那種。

    激光驅(qū)動的機(jī)器人大軍!Nature:機(jī)器人尺寸小于 0.1 毫米,4 英寸晶圓可容納 100 萬個

    顯微鏡下長這樣,可可愛愛沒有腦袋的它正在受激光的控制在液體中游動。

    激光驅(qū)動的機(jī)器人大軍!Nature:機(jī)器人尺寸小于 0.1 毫米,4 英寸晶圓可容納 100 萬個

    機(jī)器人大軍集合。

    激光驅(qū)動的機(jī)器人大軍!Nature:機(jī)器人尺寸小于 0.1 毫米,4 英寸晶圓可容納 100 萬個

    那么,要制造這樣小到極致的機(jī)器人,還要讓它順利移動,最難的部分是什么?

    在這個問題上,科學(xué)家們的一個較為一致的答案是:微米級致動器系統(tǒng)(致動器可簡單理解為能讓機(jī)器人動起來的馬達(dá))。

    這一領(lǐng)域最近迎來了一個好消息:一組來自美國康奈爾大學(xué) Kavli 生物納米科技研究所、康奈爾大學(xué)原子與固體物理實驗室、賓夕法尼亞大學(xué)電氣與系統(tǒng)工程系、康奈爾大學(xué)應(yīng)用與工程物理系的科學(xué)家團(tuán)隊開發(fā)出了一種新型的致動器,并在此基礎(chǔ)上創(chuàng)造了 100 多萬個微型四腳機(jī)器人,這也是迄今為止首批尺寸小于 0.1 毫米的機(jī)器人

    2020 年 8 月 26 日,該團(tuán)隊以 Electronically integrated, mass-manufactured, microscopic robots(電子集成批量制造微型機(jī)器人)為題的研究成果發(fā)表于知名學(xué)術(shù)期刊《自然》。

    激光驅(qū)動的機(jī)器人大軍!Nature:機(jī)器人尺寸小于 0.1 毫米,4 英寸晶圓可容納 100 萬個

    微電子研究的新世界大門

    在微電子學(xué)領(lǐng)域,摩爾定律的擴(kuò)展為微型機(jī)器人領(lǐng)域帶來了巨大機(jī)遇——電子、磁和光學(xué)系統(tǒng)提供了一個前所未有的復(fù)雜性高、尺寸小、成本低的組合,可以較為容易地用于小于人類視覺分辨率極限(100 微米)的機(jī)器人。

    然而,一個主要障礙是:不存在與半導(dǎo)體處理無縫集成并響應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)電子控制信號的微米級致動器系統(tǒng)。

    為克服這一障礙,研究團(tuán)隊開發(fā)了一種新型電壓可控電化學(xué)致動器,它能在低電壓(200 微伏)、低功率(10 納瓦)下操作,可與硅處理完全兼容。

    為彰顯這種新型致動器的潛力,研究團(tuán)隊通過光刻技術(shù)制造了微型機(jī)器人。

    激光驅(qū)動的機(jī)器人大軍!Nature:機(jī)器人尺寸小于 0.1 毫米,4 英寸晶圓可容納 100 萬個

    每 4 英寸的晶圓就能生產(chǎn) 100 余萬個機(jī)器人,而每個機(jī)器人的尺寸也是讓人驚掉下巴——厚約 5 微米、寬約 40 微米、長為 40-70 微米。

    這一成就激發(fā)出了驅(qū)動器與微電子電路集成的巨大潛力,對于大規(guī)模制造硅基功能機(jī)器人來說是一個重要的進(jìn)步。

    正因如此,《自然》對這種微型機(jī)器人的評價是:

    為過去 50 年的微電子研究打開了新世界的大門。

    可受激光控制在液體中游動

    實際上,這種制造技術(shù)與芯片一致的機(jī)器人還有一項特殊功能:受激光控制,在液體中游動。

    據(jù)《自然》報道,要想設(shè)計一款在液體環(huán)境中可移動的微型機(jī)器人并不容易,原因顯而易見——微米尺度的物體想要前進(jìn),將面臨強(qiáng)大的阻力。

    好在該團(tuán)隊開發(fā)的致動器派上了用場。

    原理是,團(tuán)隊使用原子層沉積和光刻技術(shù),用厚度僅為幾十個原子的鉑條制造了致動器,其一側(cè)被一層惰性鈦覆蓋。

    研究團(tuán)隊將四個致動器設(shè)計成機(jī)器人的四條腿,在對其施加正電荷時,帶負(fù)電的離子將從周圍溶液中吸附到暴露的表面上中和電荷,因此鉑會膨脹產(chǎn)生彎曲,但同時其具有超薄特性,材料急劇彎曲也不會斷裂,保證機(jī)器人能在浸沒于水的凹凸不平表面上動起來。

    為控制機(jī)器人的 3D 肢體運(yùn)動,研究團(tuán)隊還在致動器頂部設(shè)計了剛性聚合物面板,面板之間有一定的間隙,功能就類似人體的膝蓋或腳踝。

    而且,向前或向后移動的方向不同,四條腿扭轉(zhuǎn)的程度也不同。

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    不僅如此,機(jī)器人的四條腿連接著位于中部底盤(可以理解為機(jī)器人的軀干)的幾個光伏貼片(太陽能電池)上。

    當(dāng)激光照射在貼片上時,四條腿也將彎曲、伸直。而通過不同貼片上的閃爍激光脈沖,機(jī)器人受到控制,前后腿就會交替彎曲,因此開始移動。

    一定程度上,這種創(chuàng)新性設(shè)計對于其他微電機(jī)的推進(jìn)機(jī)制也有參考價值。比如,雖然要考慮到特定的化學(xué)環(huán)境、能源轉(zhuǎn)化為運(yùn)動的效率等等,但自電泳微型電動機(jī)也可通過連接到機(jī)載電路的電流供電。

    如何克服制造微型機(jī)器人的技術(shù)挑戰(zhàn)?

    雷鋒網(wǎng)了解到,面對微型機(jī)器人制造的技術(shù)挑戰(zhàn),科學(xué)家目前有兩種策略。

    第一種是能反映遠(yuǎn)程能量供應(yīng)和認(rèn)知功能的設(shè)計,它被稱為「牽線木偶」(marionette)。

    這種設(shè)計包含電源,計算或決策組件與機(jī)器人本身分離。

    其優(yōu)勢在于,無需集成機(jī)載電源和計算電路就可以測試功能組件;而缺點是必須始終將機(jī)器人“束縛”在能量源上。

    不難看出,上述微型機(jī)器人正是屬于這一類設(shè)計,原因在于研究人員是通過照在光伏貼片上的激光來提供指令的。

    第二種策略是構(gòu)建完全不受任何束縛的自主設(shè)備。微型機(jī)器人已經(jīng)結(jié)合了能量存儲技術(shù)或從環(huán)境中清除能量的方法,但考慮到能量存儲、計算能力和小規(guī)模制造方法的局限性,自主設(shè)備在實現(xiàn)微型化的同時又不失“智能”的能力,還有待觀察。

    雖然微型機(jī)器人未來還有很大的發(fā)展空間,但這項研究的意義無疑是重大的。未來微型機(jī)器人會的不應(yīng)僅局限于「游泳」,更重要的是通過傳感器和邏輯電路的輸入遵循更為高級的指令。

    引用來源:

    https://www.nature.com/articles/s41586-020-2626-9

    https://www.nature.com/articles/d41586-020-02421-2

    https://news.cornell.edu/stories/2020/08/laser-jolts-microscopic-electronic-robots-motion


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